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產品詳細說明
十多年來，INFICON Transpector CPM *直是半導體行業市場**的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監控系統。現在，Transpector CPM 3 通過與新傳感器和電子設備集成的經過現場驗證的泵送和入口系統提供業界**的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是適用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等新的和成熟的半導體工藝的理想 RGA 工藝監視器。
Transpector CPM 3 通過以下方式為我們的合作伙伴提供經過驗證的投資回報：
行業**的測量技術
穩健且自適應的架構
易于維護
卓越的產品支持
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