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產(chǎn)品詳細(xì)說明
通過連續(xù)測量能量輸出來優(yōu)化等離子體增強(qiáng)表面改性過程
在等離子體增強(qiáng)過程中，表面反應(yīng)的發(fā)生、性質(zhì)和反應(yīng)速率在很大程度上取決于入射粒子的動(dòng)能。與輻射和反應(yīng)焓等其他貢獻(xiàn) 起，它是總能量流入的 部分，對等離子體處理的基底的表面性能至關(guān)重要。
ZIROX、NEOPLAS和萊布尼茨等離子體科學(xué)與技術(shù)研究所開發(fā)了 種新型探針，用于在表面處理過程中原位測量表面的真實(shí)能量流入。由此，可以對能量通量的大小和方向進(jìn)行表征，并與材料的性質(zhì)進(jìn)行關(guān)聯(lián)。
由于其對工藝參數(shù)變化的高靈敏度和相對較低的成本，主動(dòng)熱探針非常適合于工業(yè)或研究中等離子過程的有效質(zhì)量控制和在線監(jiān)測。
主動(dòng)熱探頭適用于真空應(yīng)用和溫度高達(dá)450°C，能量通量高達(dá)2+/- 0.001 W/cm2。可變的探測總長度允許任何自定義版本。
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