IWAKI 半導體氣動泵PDS-H115系列

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公司基本資料信息

產品詳細說明

　　大大節省光刻膠

　　使用高力矩步進電機作為驅動裝置，確保吐出量的穩定性。即使使用過濾器過濾堵塞物或液體粘度出現變化時，亦確保暢通無阻。吐出重復精度(高達0.3%)能保持不變。

　　無污染

　　采用管型膜片結構，內部過流部分是平整、光滑，殘留體積*小。因為整個系統幾乎沒有*個地方，可讓液體依附，有效避免顆粒產生。

　　適用于各種涂層工藝

　　因吐出速度可自由改變，該系統能夠處理各種光刻膠涂層工藝，包括*小吐出量或*短時間周期等不同的應用。

　　減少生產線停機時間

　　吐出量和吐出時間可以輕松在控制器設定，大大減低操作時間、人手和生產線停機時間。

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