大大節(jié)省光刻膠
使用高力矩步進(jìn)電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)裝置,確保吐出量的穩(wěn)定性。即使使用過濾器過濾堵塞物或液體粘度出現(xiàn)變化時(shí),亦確保暢通無(wú)阻。吐出重復(fù)精度(高達(dá)0.3%)能保持不變。
無(wú)污染
采用管型膜片結(jié)構(gòu),內(nèi)部過流部分是平整、光滑,殘留體積*小。因?yàn)檎麄€(gè)系統(tǒng)幾乎沒有*個(gè)地方,可讓液體依附,有效避免顆粒產(chǎn)生。
適用于各種涂層工藝
因吐出速度可自由改變,該系統(tǒng)能夠處理各種光刻膠涂層工藝,包括*小吐出量或*短時(shí)間周期等不同的應(yīng)用。
減少生產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間
吐出量和吐出時(shí)間可以輕松在控制器設(shè)定,大大減低操作時(shí)間、人手和生產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間。