MICRO-EPSILON干擾測量儀IMS5600-DS系列

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公司基本資料信息

產品詳細說明

　　新型白光干涉儀 IMS5600-DS 用于*高精度的距離測量。該控制器提供具有智能評估功能的特殊校準，并可實現亞納米分辨率的*對測量。干涉儀用于具有*高精度要求的測量任務，例如電子和半導體生產中。

　　特征

　　亞納米*精度的距離測量

　　*流：分辨率 < 30 皮米

　　*對測量，適用于臺階輪廓

　　緊湊而堅固的傳感器，具有大偏移距離

　　測量速率高達 6 kHz，可實現高速測量

　　通過網絡界面輕松配置

　　適用于真空的傳感器和電纜

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