IWAKI半導體氣動泵FS-N 系列

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公司基本資料信息

產品詳細說明

　　高速沖程

　　高速沖程 (FS-80N*高達200 spm)，讓結構緊湊、重量輕、成本低，可同時用于高流量及高壓力工況。

　　無污染設計

　　過流端采用氟樹脂無污染構造，使用獨有的軸封顯著降低顆粒的產生(已申請專利)。

　　高流量及高吐出壓力

　　*大吐出量高達0.7MPa，不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求，同時適用于清洗及CMP制程。

　　傳感器驅動系統

　　內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。

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