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Creating Nano 真空電性量測(cè)系統(tǒng)MVEM001

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品牌: Creating Nano
單價(jià): 面議
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供貨總量:
貨期: 現(xiàn)貨
所在地: 中國臺(tái)灣
有效期至: 長(zhǎng)期有效
最后更新: 2024-12-09 23:00
瀏覽次數(shù): 16
詢價(jià)
公司基本資料信息






 
 
產(chǎn)品詳細(xì)說明
   產(chǎn)品描述
  多探針真空量測(cè): 可選配2至4組可微調(diào)探針座,電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載臺(tái)直徑可至2英寸,腔體真空度可選擇*般真空度(5×10-3 Torr)以及高真空(1×10-6 Torr)。探針X-Y-Z三方向微調(diào),行程:6.5 mm,定位精度:10 μm。并搭配CCD進(jìn)行下針及微調(diào)。
  In situ等離子處理裝置: 特殊探針收回機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),多次量測(cè)之間可進(jìn)行等離子處理程序,針對(duì)樣品進(jìn)行表面等離子改質(zhì)/清潔,不須破真空使得量測(cè)樣品接觸大氣而產(chǎn)生影響。可選配RF/DC/MF generator。
  光感測(cè): 腔體上方透明視窗采用石英玻璃,可搭配光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行光感測(cè)元件之量測(cè)。
  特定氣體感測(cè): 特定氣體可透過質(zhì)流控制器(Mass flow controller, MFC)或浮子流量計(jì)進(jìn)行流量控制。
  濕氣感測(cè)、有機(jī)蒸氣感測(cè): 可選配特殊液態(tài)蒸氣導(dǎo)入裝置設(shè)計(jì),可控制導(dǎo)入腔體之蒸氣流量,進(jìn)而換算液態(tài)蒸氣之感測(cè)濃度。
  低溫量測(cè)(300K~20K): 選配閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng),可達(dá)20K之低溫環(huán)境,并透過PID系統(tǒng)進(jìn)行連續(xù)式控溫。高溫選配需求可達(dá)500K、低溫選配需求可達(dá)10K
 
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