ETEL 旋轉軸DXRH系列

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公司基本資料信息

產品詳細說明

　　DXRH是ETEL旋轉軸系列解決方案中的*新產品。這是*款單自由度、機械軸承為基礎的旋轉軸模組，兼有優異的精度和準確性。

　　集成360,000線的編碼器，擁有無與倫比的機械性能完全可以比肩空氣軸承解決方案，但結構更簡單，DXRH的核芯組件是海德漢性能卓越的編碼器和軸承技術，以及無齒槽、無扭矩波動的ETEL直驅電機技術。

　　DXRH模塊全面兼容標準的ETEL接口，該模塊可獨立使用，也可將其集成在ETEL的系統產品中。它還為所有基于DXRH的應用，提供了后續性能升*路徑，無需重新設計，因為接口是相同的。

　　DXR+旋轉模塊可集成在CHARON2和VULCANO2堆疊平臺上。它具有高剛性、高精度、高準確性、高清潔性等特點，由于采用不銹鋼設計，可有效減小熱變形。

　　盡管旋轉模塊主要用于半導體行業，但它同樣適用于不同的應用和需要高精度和高準確性旋轉解決方案的要求。

　　DXRH旋轉模塊可用于大量應用和行業，特別適用于圓晶的制程控制，例如Overlay測量、臨界尺寸和薄膜測量以及光電子應用。

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