日本BUSCH干式螺桿真空泵-COBRA BC1000/2000F
輕到中負載半導體應用的理想解決方案
高性能
進的螺桿設(shè)計,鐘形結(jié)構(gòu),專利自平衡螺桿,卓越的運行質(zhì)量,安裝機械增壓泵,適用于負載鎖定、傳輸室、計量、光刻、PVD、快速熱處理
高效率
擁有成本低、維護 少、維修間隔長、正常運行時間長、直接水冷
袖珍的
設(shè)計用于安裝在任何地方,直接連接罐電機、背泵、機械增壓泵,安裝在緊湊的底座上
市場與應用
半導體相關(guān)
中程
太陽能電池板相關(guān)
物理氣相沉積 (PVD)