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產(chǎn)品詳細(xì)說明
Candela 8720*進(jìn)的集成式表面和光致發(fā)光(PL)缺陷檢測系統(tǒng)可以捕獲各種關(guān)鍵襯底和外延缺陷。采用統(tǒng)計制程控制(SPC)的方法來進(jìn)行自動晶圓檢測，可顯著降低由外延缺陷導(dǎo)致的良率損失，*大限度地減少金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器的工藝偏差，并增加MOCVD反應(yīng)器的正常運(yùn)行時間。
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