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KLA 表面缺陷檢測系統Candela 8420系列

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品牌: KLA
單價: 面議
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貨期: 現貨
所在地: 美國
有效期至: 長期有效
最后更新: 2025-06-06 14:26
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公司基本資料信息






 
 
產品詳細說明
    Candela 8420是*種表面缺陷檢測系統,它使用多通道檢測和基于規則的缺陷分類,對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石和其他化合物半導體材料)提供微粒和劃痕檢測。 8420表面缺陷檢測系統采用了專有的OSA(光學表面分析儀)架構,可以同時測量散射強度、形貌變化、表面反射率和相位變化,從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。只需幾分鐘即可完成全晶圓檢測,并生成高分辨率圖像和自動化檢測報告,同時附帶缺陷分類和晶圓圖。
 
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