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INFICON 質譜儀APX ALD 單壓系列

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品牌：	INFICON
單價：	面議
起訂：
供貨總量：
貨期：	現貨
所在地：	瑞士
有效期至：	長期有效
最后更新：	2024-12-09 22:51
瀏覽次數：	22

公司基本資料信息

產品詳細說明

　　INFICON Transpector APX 仍然是市場**的半導體和顯示器工藝監控殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 知道半導體和顯示器客戶有獨特的需求，Transpector APX 的*新版本可以提供更大的靈活性來滿足特定的應用要求，同時保持行業**的測量速度和靈敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導體工藝的理想 RGA 工藝監視器。

　　下*代 Transpector APX ALD 單壓入口系統的設計能夠承受容易產生顆粒或涂層的化學工藝，例如 ALD 或 PECVD。這樣可以進行連續監控，以捕獲所有關鍵流程步驟的數據點。此外，入口可進行溫度控制，以抵抗腐蝕性氣體，這對于腔室清潔端點監測應用至關重要。

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