德國ERS 半自動熱拆鍵合MDM300/330

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產品詳細說明

　　德國ERS 半自動熱拆鍵合MDM300/330

MDM300/330是專為研發實驗室和新技術試產期間的試生產線設計的款半自動熱拆鍵合機。

ERS MDM300系統是種用于半自動分離晶圓與載體（熱拆鍵合）的FOWLP技術。該機器通過釋放熱量將載體剝離。該系統可供，以保證熱拆鍵合后的晶圓質量。

它提供半自動PLC控制，而且多可存儲100多種配方。該機器具有較高的可重復操作性：可以使用預設參數進行自動熱拆鍵合，然后手動脫膠，后進入全自動翹曲矯正程序。

MDM300具有兩種操作模式：熱拆鍵合和翹曲調整以及獨立的翹曲矯正功能。

另外，我們還提供些特殊的技術支持，例如在重新分布后，對易氧化的晶圓采用的無氧三溫滑動專利技術。

該工具專為研發實驗室和新技術試產期間的試生產線設計的。

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